特許
J-GLOBAL ID：200903092393524380
螺旋状の磁気的な直線移動機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-504546
公開番号（公開出願番号）：特表平9-500235
出願日： 1994年06月13日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：
【要約】直列に連結されて処理ラインを形成する複数の真空排気可能なハウジング(12)を含むウェーハ処理装置で使用される螺旋状の磁気的な地ライン度機構(46)は、該処理ラインに沿ってハウジング(12)を通る軌道(14)を移動可能に取り付けられる少なくとも1つのウェーハ支持構造体(24)を含む。この構造体(24)はハウジング(12)の壁(38)の近くに配置された基部(36)を含み、また該壁(38b)に面するように延在した複数の磁性ねじセグメント(34)を含む。ハウジング(12)の外部には、円柱シャフト(48)が壁(38)の近くに取り付けられる。連続した部分を有する細長い磁性駆動体(52)はシャフト(48)のまわりを螺旋状に巻かれて、該駆動体の部分はねじセグメント(34)と対向する壁(38b)に対面される。ねじセグメント(34)は磁性駆動体(52)に引き付けられてウェーハ支持構造体(24)をシャフト(48)に連結し、シャフト(48)が回転されると、ねじセグメント(34)は更にシャフト(48)に沿って位置される駆動体(52)の異なる連続した部分に対して露出され、ウェーハキャリヤ(24)は軌道(14)に沿ってハウジング(12)を通して直線移動される。磁性ねじセグメント(34)および螺旋状の磁性駆動体(52)は別々の磁性部材(70,72,74)で作られ、外端部を反対磁極で交互に磁極配置されて、個々のねじセグメント部材(70,72,74)が反対磁極を有する駆動部材(64,66,68)に引き付けられるようになされることが好ましい。代替実施例では、シャフト(48)は螺旋状に巻き付けられた複数の磁性駆動部材(80)を含む。シャフト(48)は非磁性のスリーブで覆われて、磁性駆動体(52)を保護するようになされる。
請求項（抜粋）：
少なくとも1つの壁を有するウェーハ処理室を通る通路に沿ってウェーハを移動させる磁気的な移動機構であって、 該処理室の外部に配置されて前記通路に平行に延在するように取り付けられ、処理室の壁の付近で自体の長手軸線のまわりに回転する細長い円柱シャフトと、 該シャフトのまわりに螺旋状に巻き付けられてシャフトとともに回転するようになされる連続した駆動部分を含んでなる少なくとも1つの細長い磁性駆動体と、 該細長いシャフトの軸線に平行な前記通路にほぼ沿って移動するように、処理室内で壁付近に可動に取り付けられる、ウェーハを保持するウェーハ支持構造体であって、該構造体を磁性駆動体の部分に磁気的に連結するために少なくとも1つの軸線ねじセグメントを有し、シャフトの回転でねじセグメントを更にシャフトの長さに沿って位置する駆動体の異なる連続した部分に露出するようになし、これによりねじセグメントが連続した駆動体の部分に連結されて、該細長いシャフトが回転するにつれて該構造体を該シャフトに平行な前記通路に沿って直線移動させるようになされているウェーハ支持構造体とを含む磁気的な移動機構。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/07 D
