特許

J-GLOBAL ID：200903092396100840

パルスレーザ加工装置

発明者： 藪本 誠一
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-164737
公開番号（公開出願番号）：特開平5-008063
出願日： 1991年07月05日
公開日（公表日）： 1993年01月19日
要約：

【要約】【目的】 加工対象物に対して、加工形状がきれいに仕上り、加工部分の周辺に照射損傷を与えることなく、加工マージンのあるレーザー加工を可能にする。【構成】 第1パルスレーザ発振器1は加工パルスレーザ光11を出力する。第2パルスレーザ発振器2は加工パルスレーザ光11よりもパルス幅が長くかつ、エネルギーの弱いパルスレーザ光12を出力する。加工パルスレーザ光11と、パルスレーザ光12との出射タイミングを制御する制御装置により、加工パルスレーザ光11、パルスレーザ光12が時間差を置いて加工対象物6に投射される。

請求項（抜粋）：

加工パルスレーザ光を出力する第1パルスレーザ発振器と、前記加工パルスレーザ光よりもパルス幅が長くかつ、エネルギーの弱いパルスレーザ光を出力する第2パルスレーザ発振器と、前記加工パルスレーザ光と前記パルスレーザ光とを同軸にて加工対象物に投射する集束光学系と、前記加工パルスレーザ光と、前記パルスレーザ光とを時間差を置いて加工対象物に投射すべく、前記第1パルスレーザ発振器と前記第2パルスレーザ発振器によるレーザ光の出射タイミングを制御する制御装置と、を有することを特徴とするパルスレーザ加工装置。