感光性樹脂組成物

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：皿田秀夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284796
公開番号（公開出願番号）：特開平11-212263
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 1999年08月06日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】高感度、高解像度で、現像性が良く、残膜率の高い新規な感光性樹脂組成物を提供する。また、放射線照射前の加温(プリベーク工程)を省略でき、生産性の向上に大きく寄与できる新規な感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】アルカリ可溶性のベース樹脂と、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、を含む感光性樹脂組成物であって、アルカリ可溶性のベース樹脂は、アルコキシ基あるいはフェノール性水酸基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分として含む付加重合体であり、光重合開始剤は、ラジカル重合開始剤と光照射によって酸を発生させる光酸発生剤からなり、光重合性モノマーは、多官能性アクリレート系モノマーである。

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性のベース樹脂と、光重合開始剤と、光重合性モノマーと、を含む感光性樹脂組成物であって、前記アルカリ可溶性のベース樹脂は、少なくともアルコキシ基あるいはフェノール性水酸基を有するラジカル重合性モノマーを共重合成分として含む付加重合体であり、前記光重合開始剤は、ラジカル重合開始剤と、光照射によって酸を発生させる光酸発生剤を含み、前記光重合性モノマーは、多官能性アクリレート系モノマーであることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/032 , C08F 2/50 , C08L101/00 , G02B 5/20 101 , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 601

FI (6件)：

G03F 7/032 , C08F 2/50 , C08L101/00 , G02B 5/20 101 , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 601

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