特許

J-GLOBAL ID：200903092397469937

多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッド

発明者： ヴィンフリート・ベルクホフ ,  フリードリヒ・ハーゲマイヤー ,  ルッツ・ノイバウアー ,  ヴォルフガンク・ヴェール
出願人/特許権者： インクジェット-システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディトゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 奥山 尚男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120755
公開番号（公開出願番号）：特開平6-008436
出願日： 1993年04月23日
公開日（公表日）： 1994年01月18日
要約：

【要約】【目的】 電熱変換による各発生インキ蒸気泡の広がり方向がインキ噴出方向とは反対である多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッドの熱効率を改善し、噴出インキ粒子の飛翔軌道の精度を高め、インキジェットプリンタヘッドの機械的強度を十分に高める。【構成】 シリコンから成る基板材料の上に少なくとも1つのエッチング停止層(26)及び選択的な抵抗層(27)及び選択的なメタライゼーション層(28)及び膜層(30)を前記順序で装着し、その代りに加熱素子の下のシリコンをエッチングにより除去することが提案される。これにより加熱素子(4)からインキへの熱伝達が改善される。外側に位置する膜層(30)の厚さは自由に寸法決め可能であり、従って機械的強度を高めても熱特性は一定不変である。より厚い膜(3)により噴出インキ粒子の飛翔軌道はより安定し再現可能となる。

請求項（抜粋）：

加熱素子及び導電路及び接触接続個所及びインキ出口開口がただ1つのチップの上に統合され、電熱変換による発生インキ蒸気泡の広がり方向がインキ噴出方向とは反対であり、インキ貯蔵容器に供給チャネルを介して着脱可能に接続されインキ出口開口付きのインキチャネルを複数具備する多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッドにおいて、インキチャネル(16)がインキ噴出方向で膜(3)により閉じられ、膜(3)がチップ(11)から出発してインキ噴出方向で少なくとも1つのエッチング停止層(26)及び抵抗層(27)及び選択的なメタライゼーション層(28)及び膜層(30)から前記順序で成ることを特徴とする多層電熱変換形インキジェットプリンタヘッド。