特許

J-GLOBAL ID：200903092398903894

振動センサ

発明者： 中邑 卓郎
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 佐藤 成示 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-164203
公開番号（公開出願番号）：特開平10-009944
出願日： 1996年06月25日
公開日（公表日）： 1998年01月16日
要約：

【要約】【課題】 振動数が低い領域であっても安定して振動を検知できる振動センサーを提供する。【解決手段】 固定電極1と、両端部が支持されて所定間隔を設け空気を介して固定電極1に対面した可動電極2と、可動電極2に固着されて電荷を保持した電荷保持面31が固定電極1に対面したエレクトレット膜3と、振動時に可動電極2に変位を与えるよう固定電極1の反対側に設けられた重り4と、を備え、固定電極1と可動電極2との間の静電容量変化を測定して振動を検知する振動センサであって、前記重り4は検知する振動数と比べて装着状態で高い固有振動数を有して、前記振動によって前記重り4に衝撃を印加する衝撃印加手段が設けられた構成にしてある。

請求項（抜粋）：

固定電極と、両端部が固定されて所定間隔を設け空気を介して固定電極に対面した可動電極と、固定電極又は可動電極のいずれか一方の電極に固着されて電荷を保持した電荷保持面が他方の電極に対面したエレクトレット膜と、振動時に可動電極に変位を与えるよう固定電極の反対側に設けられた重りとを備え、固定電極と可動電極との間の静電容量変化を測定して振動を検知する振動センサであって、前記重りは検知する振動数と比べて装着状態で高い固有振動数を有して、前記振動によって前記重りに衝撃を印加する衝撃印加手段が設けられたことを特徴とする振動センサ。

IPC (3件)：

G01H 11/06 ,  G01H 1/00 ,  G01P 15/125

FI (3件)：

G01H 11/06 ,  G01H 1/00 B ,  G01P 15/125