特許

J-GLOBAL ID：200903092399118465

光導波路の製造方法及び光導波路製造のためのマスタ原板の製造方法

発明者： 藤本 学
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-111961
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305055
出願日： 1998年04月22日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 樹脂の離形性を改良して均一なコア断面形状を得ることができ、導波光の透過率の低下やバラツキを少なくできる光導波路の製造方法を提供すること。【解決手段】 レジスト膜2の表面に透明層4を形成して露光することにより、クラッド基板作製用の金型10の元になるマスタ原板Mの溝7の断面形状を、逆台形形状としたので、該マスタ原板Mにより作製した金型10を使用して射出成形により前記クラッド基板12を作製すると、金型10に流し込んだ樹脂を変形させることなく容易に離形でき、離形時に発生しやすい溝やクラッド基板12自体の変形を防止することができる。

請求項（抜粋）：

マスタ原板を作製する工程と、該マスタ原板に基づいて金型を作製する工程と、該金型に基づいてクラッド基板を作製する工程と、該クラッド基板に光導波路を作製する工程とを具備する光導波路の製造方法において、前記マスタ原板を作製する工程は、マスタ基板にレジスト膜を塗布する工程と、該レジスト膜の表面に露光光が透過する透明層を形成する工程と、光導波路コア部のパターンを該透明層を介して露光してから、現像することにより、前記レジスト膜の溝側壁面部の傾斜角度が溝底部に対して90度以上をなす台形形状の溝を形成する工程と、を具備することを特徴とする光導波路の製造方法。