特許
J-GLOBAL ID：200903092407191738
レーザプラズマX線用真空紫外分光器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-230212
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073698
出願日： 1996年08月30日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：
【要約】【課題】 高強度のX線を簡便に得る。【解決手段】 集光したレーザ光をターゲット1に照射すると、ターゲット1上のレーザ照射点6からX線が放射状に発生し、中空型ミラー2はこのX線を集める。ミラー2で集められたX線は平面回折格子3に導かれる。回折格子3によって分光されたX線は反射型回転放物面ミラー4によって出射スリット5上に集光される。こうして、所望の波長のX線を取り出すことができる。中空型ミラー2をレーザ照射点6の近傍に配設して、ミラー2の内面でプラズマX線を反射させることにより、放射状に発散するX線をより多く集めることができ、高強度のX線を簡便に得ることができる。
請求項（抜粋）：
レーザ光をターゲットに照射して誘起されるプラズマからX線を発生させるX線発生装置と、真空紫外線及び軟X線を分光して出射スリットに入射させる反射型回折格子とを備えたレーザプラズマX線用真空紫外分光器において、前記ターゲットのレーザ照射点近傍に、発生した真空紫外線及び軟X線を収集して反射型回折格子に導く中空型ミラーを配設したことを特徴とするレーザプラズマX線用真空紫外分光器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G21K 1/06 M
, H05G 1/00 K
