特許
J-GLOBAL ID：200903092418236288
洗浄方法
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-328143
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144795
出願日： 1991年11月16日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：
【要約】【目的】 ウエハなどの被洗浄体を洗浄する場合に、洗浄液から引き上げたときに被洗浄体の表面と大気との接触を抑えて自然酸化膜の成長などを抑えること。【構成】 縦型の円筒状の洗浄処理槽2の上方に、3本の保持部材61により多数のウエハWを各々水平に向けて間隔をおいて積み重ねた状態で保持する。移動アーム63を下降させてウエハW群をこの状態のまま、洗浄処理槽2の洗浄液に浸漬し、保持部材61を回転させながら、洗浄処理槽2の側壁の吐出口から洗浄液をウエハW間に流入させて洗浄する。その後、ウエハW群をこのまま引き上げることによりウエハW間に表面張力により液膜が形成される。
請求項（抜粋）：
被洗浄体を洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄方法において、前記被洗浄体を水平に向けた状態で洗浄液から引き出すことを特徴とする洗浄方法。
IPC (2件)：
H01L 21/304 341
, H01L 21/304
