特許
J-GLOBAL ID：200903092418283871
仕上げ研磨剤
発明者：
,
,
,
,
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117045
公開番号（公開出願番号）：特開平10-309660
出願日： 1997年05月07日
公開日（公表日）： 1998年11月24日
要約：
【要約】【課題】 水溶性セルロースと水溶性アミンを含む研磨剤において、研磨の再現性と研磨後のウェハの純度を向上させた研磨剤を提供する。【解決手段】 水溶性セルロースおよび20°Cにおける蒸気圧が133Pa以下の水溶性アミンの水溶液よりなり、該水溶性セルロース濃度をC重量%としたときのアルカリ金属元素の含有量が5Cppm以下となるように調整されたことを特徴とする仕上げ研磨剤である。
請求項（抜粋）：
水溶性セルロースおよび20°Cにおける蒸気圧が133Pa以下の水溶性アミンの水溶液よりなり、該水溶性セルロース濃度をC重量%としたときのアルカリ金属元素の含有量が5Cppm以下となるように調整されたことを特徴とする仕上げ研磨剤。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B24B 37/00 H
, C08B 11/20
