特許
J-GLOBAL ID：200903092418858459
イオン源の寿命を向上させたイオン打ち込み装置及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-120258
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182623
出願日： 1992年05月13日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：
【要約】 (修正有)【構成】 フィラメント反射装置をアーク・チャンバの内側のフィラメントに設け、該アーク・チャンバの外側のフィラメントのための電気絶縁体128を保護する遮蔽手段130を設ける。【効果】 前記絶縁体上の伝導層の形成を少なくし、寿命を大いに延ばすと共に装置の動作不可能時間を短縮する。装置の効率は、アーク・チャンバの壁温度を上昇させ、従って電子温度を上昇させる該アーク・チャンバ用の交換可能なライニングによって更に高められる。アーク・チャンバ自体又はその一部をタングステンで作ることにより、又は着脱可能なタングステン・ライニングをその中に挿入することによって得られるタングステン部分を該アーク・チャンバの内側に用いることにより、イオン・ビームの汚染が減少する。該アーク・チャンバの保守性は、該フィラメント及びフィラメント反射装置の両方を別々にクランプする一体のクランプによって向上する。
請求項（抜粋）：
ガスの発生源を包含する、プラズマが中で生成されるアーク・チャンバと、電流源に接続されたフィラメントと、前記フィラメント及び出口開口部のための電気絶縁体と、イオン・ビームを分解して、予め選択されたイオンの化学種が開口部を通過してターゲットに打ち込みを行うのを許す手段とから成るイオン打ち込み装置において、反射装置と該アーク・チャンバとの間に絶縁ギャップを維持するために該フィラメントと該反射装置とを取付け、該発生源本体上に該アーク・チャンバの外側で且つ該アーク・チャンバから離間させて該フィラメントのための電気絶縁手段を取りつけることを特徴とするイオン打ち込み装置。
IPC (4件)：
H01J 37/08
, C23C 14/48
, H01J 37/317
, H01L 21/265
