浮上式搬送装置における被送体の搬送方法及び浮上式搬送装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富澤孝 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-321229
公開番号（公開出願番号）：特開平10-157851
出願日： 1996年12月02日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】被送体と搬送部材との間に均一な圧力膜を作り、被送体の浮上状態における安定度を高めて、目標の軌道から逸脱せずに被送体を搬送することができる搬送方法を提供すること、及びそれを安価に具現化することができる浮上式搬送装置を提供すること。【解決手段】搬送路に多数の小径の噴射口を備える搬送部材を有し、前記搬送部材より流体を搬送媒体として噴射させ、被送体を浮上させて搬送路に接触させずに搬送する方法において、搬送部材2a,3aを多孔質材料で形成し、前記搬送路の中央部に真空ポート2を備える真空搬送部材2aと、前記搬送路の両端部に加圧ポート3を備える加圧搬送部材3aとを設けて、前記搬送媒体が前記搬送路の両端部から中央部へ流れるようにし、被送体を前記搬送路の中央部に誘導しつつ浮上させ、かつ所望方向に搬送することができるようにした。

請求項（抜粋）：

搬送路に多数の小径の噴射口を備える搬送部材を有し、前記搬送部材より流体を搬送媒体として噴射させ、被送体を浮上させて搬送路に接触させずに搬送する方法において、前記搬送路の両端部に加圧ポートを設けて、被送体を前記搬送路の中央部に誘導しつつ浮上させ、かつ所望方向に搬送することができるようにしたことを特徴とする浮上式搬送装置における被送体の搬送方法。

IPC (2件)：

B65G 51/03 , H01L 21/68

FI (2件)：

B65G 51/03 A , H01L 21/68 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特公昭45-021137
特公昭45-021137
眼用レンズ製作用材の搬送装置および搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-228873 出願人：株式会社メニコン

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