特許

J-GLOBAL ID：200903092423927973

吸着固定搬送用シート

発明者： 和野 隆司 ,  森山 順一
出願人/特許権者： 日東電工株式会社
代理人 (1件)： 西藤 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199555
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028390
出願日： 1999年07月13日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】従来からの製造工程の設備等をなんら変更することなく、しかもグリーンシートの軽薄化にも充分対応可能な吸着固定搬送用シートを提供する。【解決手段】下記の(A)および(B)を備えた多孔質シートが被吸着部材との接触面部を構成するようになっている吸着固定搬送用シートである。しかも、上記吸着固定搬送用シート全体の厚み方向の通気度が1cm3 /cm2 /sec以上である。(A)表面の開孔率が40%以下。(B)表面粗さ(Ra)が1μm以下。

請求項（抜粋）：

下記の(A)および(B)を備えた多孔質シートが被吸着部材との接触面部を構成するようになっている吸着固定搬送用シートであって、上記吸着固定搬送用シート全体の厚み方向の通気度が1cm3 /cm2 /sec以上であることを特徴とする吸着固定搬送用シート。(A)表面の開孔率が40%以下。(B)表面粗さ(Ra)が1μm以下。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B23Q 3/08 ,  B32B 5/18 ,  C08J 5/18

FI (4件)：

H01L 21/68 P ,  B23Q 3/08 A ,  B32B 5/18 ,  C08J 5/18

Fターム (32件)：

3C016DA05 ,  4F071AA15 ,  4F071AA81 ,  4F071AH12 ,  4F071BA01 ,  4F071BB13 ,  4F071BC01 ,  4F071BC13 ,  4F071BC16 ,  4F100AK04 ,  4F100AK42 ,  4F100BA02 ,  4F100DJ00A ,  4F100DJ00B ,  4F100EJ17 ,  4F100EJ24 ,  4F100EJ42 ,  4F100GB41 ,  4F100JA08 ,  4F100JD02A ,  4F100JK01 ,  4F100JK14A ,  4F100JK15 ,  4F100YY00A ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031GA08 ,  5F031GA32 ,  5F031GA33 ,  5F031PA20