特許
J-GLOBAL ID：200903092431647289
プローブヘッドおよび電気的試験方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-063995
公開番号（公開出願番号）：特開平7-273158
出願日： 1994年03月31日
公開日（公表日）： 1995年10月20日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、プリント配線板などの基板の検査に使用されるプローブヘッドに関し、プローブを基板に高速で接触させ、複数のプローブ同士を向かい合わせて使用でき、プローブ同士の最接近距離を短くすると共に、基板との安定な接触を図ることを目的とする。【構成】 上ばね部10aの他端10lが固定されている。この上ばね部10aの一端10gにカムフォロア11および偏心カム21が下方向の力を加える。上ばね部10aの下方に下ばね部10bが並設されている。この下ばね部10bの一端10mと上ばね部10aの一端10gとは連結され一体化された連結部10kである。先端部10cは、下ばね部10bの他端10nから斜め下左方向Eに沿って突出し、基板30の測定箇所に接触または離間する。
請求項（抜粋）：
第1板ばね部(10a)と、この第1板ばね部(10a)の下方に並設された第2板ばね部(10b)と、上記第1板ばね部(10a)の一端(10g)と上記第2板ばね部(10b)の一端(10m)とを連結して一体化した連結部(10k)と、その他端(10l)が固定された第1板ばね部(10a)の一端(10g)に下方向の力を加える外力機構(11、21)と、上記第2板ばね部(10b)の他端(10n)から斜め下であって上記連結部(10k)と反対の方向(E)に沿って突出し、基板(30)の測定箇所に接触または離間する先端部(10c)と、を備えることを特徴とするプローブヘッド。
IPC (3件)：
H01L 21/66
, G01R 1/06
, G01R 1/073
