特許
J-GLOBAL ID：200903092435713901
感光性樹脂組成物の現像方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青山 葆 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-142730
公開番号（公開出願番号）：特開平9-325502
出願日： 1996年06月05日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 特定の水現像性感光性樹脂組成物に関し、得られた硬化物の性能と現像特性とのバランスの保持。【解決手段】 特定の感光性樹脂組成物の現像液として、水および非イオン界面活性剤を用いること。
請求項（抜粋）：
水現像性感光性樹脂組成物を画像態様で露光した後、未露光部分を水性現像液で現像除去する水現像性感光性樹脂組成物の現像方法において、該水現像性感光性樹脂組成物が(A)?@脂肪族共役ジエン単量体10〜95モル%、?Aカルボキシル基、水酸基、スルホン酸基、リン酸基からなる群より選ばれる官能基を1種類以上有する単量体0.1〜30モル%、?B脂肪族共役ジエン単量体?@を除く、2個以上の付加重合可能な基を有する単量体0.1〜20モル%、および?Cその他の共重合可能な単量体0〜70モル%からなり、但し?@+?A+?B+?C=100モル%である単量体混合物を重合することにより得られる親水性架橋粒子共重合体、(B)20°C以上のガラス転移点を有する熱可塑性非エラストマー状ブロックXを1〜40モル%。および10°C以下のガラス転移点を有するエラストマーYを60〜99モル%含有し、X-Y-X型、あるいはX-Y型の構造を有する熱可塑性ブロック共重合体、(C)光重合性不飽和単量体、および(D)光重合開始剤を含有し、並びに該水性現像液が水および非イオン界面活性剤を含有することを特徴とする水現像性感光性樹脂組成物の現像方法。
IPC (6件)：
G03F 7/32
, G03F 7/00 502
, G03F 7/004 504
, G03F 7/027 502
, G03F 7/031
, G03F 7/033
G03F 7/32
, G03F 7/00 502
, G03F 7/004 504
, G03F 7/027 502
, G03F 7/031
, G03F 7/033
