特許

J-GLOBAL ID：200903092445184192

圧電振動子の製造方法、圧電振動用素子、圧電振動子及び発振器

発明者： 高橋 岳寛
出願人/特許権者： 日本電波工業株式会社
代理人 (1件)： 井上 俊夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-113390
公開番号（公開出願番号）：特開2008-271331
出願日： 2007年04月23日
公開日（公表日）： 2008年11月06日
要約：

【課題】小型の圧電振動用素子を確実に吸着保持(ピックアップ)することができる圧電振動子の製造方法を提供すること。【解決手段】先ず、圧電材料からなる圧電振動片の表面に、強磁性体材料が用いられた電極を形成した圧電振動用素子を製造する。次に製造された圧電振動用素子の前記電極をプローブの電磁石をオンにしてその磁力により吸着保持し、ベース体に移送する。そして前記電磁石をオフにしてプローブによる吸着保持を解除し、当該プローブを圧電振動用素子から離す。その後、前記ベース体を蓋体で覆って圧電振動用素子が配置される空間を気密に封止することで圧電振動子を製造する。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

圧電材料からなる圧電振動片の表面に、強磁性体材料が用いられた電極を形成した圧電振動用素子を製造する工程と、 製造された圧電振動用素子の前記電極をプローブの電磁石をオンにしてその磁力により吸着保持し、ベース体に移送する工程と、 次いで前記電磁石をオフにしてプローブによる吸着保持を解除し、当該プローブを圧電振動用素子から離す工程と、 その後、前記ベース体を蓋体で覆って圧電振動用素子が配置される空間を気密に封止する工程と、を含むことを特徴とする圧電振動子の製造方法。

IPC (6件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/19 ,  H03B 5/32 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22

FI (8件)：

H03H3/02 C ,  H03H9/19 C ,  H03B5/32 H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 L ,  H01L41/18 101A ,  H01L41/08 K ,  H01L41/22 Z

Fターム (22件)：

5J079AA04 ,  5J079AA06 ,  5J079BA43 ,  5J079FA01 ,  5J079HA03 ,  5J079HA06 ,  5J079HA22 ,  5J108BB02 ,  5J108CC04 ,  5J108EE03 ,  5J108EE07 ,  5J108EE18 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108GG03 ,  5J108GG16 ,  5J108JJ04 ,  5J108KK02 ,  5J108KK03 ,  5J108MM02 ,  5J108MM04 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開昭54-65497(図3)