特許
J-GLOBAL ID:200903092446977412

感光性樹脂組成物

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 中山 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-310077
公開番号(公開出願番号):特開2009-134078
出願日: 2007年11月30日
公開日(公表日): 2009年06月18日
要約:
【課題】微細な線幅のパターンを形成可能である感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体であり、光重合性化合物(B)が、不飽和二重結合当量が120g/eq以上400g/eq以下である化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体であり、光重合性化合物(B)が、不飽和二重結合当量が120g/eq以上400g/eq以下である化合物を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/038 ,  G03F 7/027 ,  G02B 5/20
FI (3件):
G03F7/038 503 ,  G03F7/027 502 ,  G02B5/20 101
Fターム (28件):
2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB13 ,  2H025AB17 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC43 ,  2H025CA00 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB30 ,  2H025CB41 ,  2H025CC03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  2H048BA02 ,  2H048BA48 ,  2H048BB08 ,  2H048BB42 ,  2H089LA06 ,  2H089MA04X ,  2H089MA07X ,  2H089NA05 ,  2H089NA14 ,  2H089NA17 ,  2H089QA12 ,  2H089TA05
引用特許:
出願人引用 (1件)

前のページに戻る