特許
J-GLOBAL ID:200903092446977412
感光性樹脂組成物
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中山 亨
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2007-310077
公開番号(公開出願番号):特開2009-134078
出願日: 2007年11月30日
公開日(公表日): 2009年06月18日
要約:
【課題】微細な線幅のパターンを形成可能である感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体であり、光重合性化合物(B)が、不飽和二重結合当量が120g/eq以上400g/eq以下である化合物を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】なし
請求項(抜粋):
バインダー樹脂(A)、光重合性化合物(B)、光重合開始剤(C)および溶剤(D)を含有し、バインダー樹脂(A)が、不飽和カルボン酸および/または不飽和カルボン酸無水物(A1)と脂肪族多環式エポキシ化合物(A2)との共重合体であり、光重合性化合物(B)が、不飽和二重結合当量が120g/eq以上400g/eq以下である化合物を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (3件):
G03F 7/038
, G03F 7/027
, G02B 5/20
FI (3件):
G03F7/038 503
, G03F7/027 502
, G02B5/20 101
Fターム (28件):
2H025AA02
, 2H025AA03
, 2H025AB13
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC13
, 2H025BC43
, 2H025CA00
, 2H025CB13
, 2H025CB14
, 2H025CB30
, 2H025CB41
, 2H025CC03
, 2H025FA17
, 2H025FA29
, 2H048BA02
, 2H048BA48
, 2H048BB08
, 2H048BB42
, 2H089LA06
, 2H089MA04X
, 2H089MA07X
, 2H089NA05
, 2H089NA14
, 2H089NA17
, 2H089QA12
, 2H089TA05
引用特許:
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