特許
J-GLOBAL ID：200903092449292542
シリコン結晶成長装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡田 和秀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-022866
公開番号（公開出願番号）：特開平11-228280
出願日： 1998年02月04日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】シリコン湯面上の浮遊物を取り除くことにより高純度のシリコン結晶成長を行う。【解決手段】バッフル板5をその上側がルツボ4の回転方向前方側になるように傾斜した状態でルツボ4の内周面に取り付けたうえで、ルツボ4を回転させる。これにより、バッフル板5の液流形成作用でルツボ4の内周面に沿って下に向かう溶融シリコンの流れを生じさせて湯面中央部に浮遊する浮遊物をルツボの内周面側に引き寄せる。さらに、バッフル板5をその先端5b側が基端5aよりルツボ回転方向前方側になるように傾斜した状態でルツボ4に取り付けることにより、湯面浮遊物を、ルツボ4の内周面とバッフル板5との間に形成された袋小路状の空間12に閉じこめる。
請求項（抜粋）：
結晶成長用の原料シリコンを溶融させる容器を備えたシリコン結晶成長装置であって、前記容器内の溶融シリコンに、容器内周面に沿って上から下に向かう流れを生じさせる手段と、前記流れに沿って溶融シリコン中を移動する溶融シリコンの不純物を容器内周面側で保持する手段と、を備えることを特徴とするシリコン結晶成長装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 15/00 Z
, C01B 33/02 E
