特許
J-GLOBAL ID：200903092455235631
プロセスモデル評価装置およびプロセスモデル評価方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鵜沼 辰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-153559
公開番号（公開出願番号）：特開平7-013611
出願日： 1993年06月24日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：
【要約】【目的】 複数のプロセスモデルや複数のモデルパラメータから適用すべきプロセスの状況に合わせて最も評価の高いモデルやモデルパラメータを柔軟に選択できるプロセスモデル評価装置を提供する。【構成】 プロセスモデル部1は、プロセス計測値により所定時間後のプロセス挙動を予測したプロセス予測値を算出する。評価基準算出部2は、プロセスモデル部1からのプロセス予測値と計測されたプロセス出力値とモデル評価関数データ7とを取り込み、複数の評価基準に基づき複数の評価量を算出する。モデル評価部3は、複数の評価量と適用すべきプロセスの状況に合わせて評価量を正規化する条件を設定する写像関数データ8と重み係数データ9とを取り込み、複数の評価量を適用すべきプロセスの状況に合わせて一次元的評価量に変換する。
請求項（抜粋）：
プロセス計測値を逐次取り込み所定時間後のプロセス予測値を逐次出力する複数のプロセスモデルの精度を総合評価するプロセスモデル評価装置において、複数のプロセスモデルからの前記プロセス予測値と前記プロセス計測値とを比較し複数のプロセスモデルの評価量を算出する評価基準算出部と、前記評価基準算出部に前記複数のプロセスモデルに対応する複数の評価基準を提供するモデル評価関数データベースと、適用すべきプロセスの状況に合わせて前記評価量を正規化する条件を設定するための写像関数を格納する写像関数データベースと、前記評価量に重み付けするための重み係数データベースと、前記写像関数データと重み係数データとを参照し前記複数のプロセスモデルを総合評価するモデル評価部とを備えたことを特徴とするプロセスモデル評価装置。
IPC (3件)：
G05B 13/04
, G05B 13/02
, G05B 23/02
