特許
J-GLOBAL ID：200903092456985871
多元系同時蒸着装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-332086
公開番号（公開出願番号）：特開平6-181175
出願日： 1992年12月14日
公開日（公表日）： 1994年06月28日
要約：
【要約】【目的】化合物薄膜を成膜するための多元系同時蒸着装置において、組成制御のために水晶振動子を用いる場合に、基板、治具などより再蒸発する低融点、高蒸気圧の成分元素の振動子への付着による制御性の低下を防止する。【構成】成膜基板および水晶振動子と対向配置される各蒸発源との間に冷却される遮蔽体を配置し、再蒸発した成分元素をトラップする。遮蔽体には、各蒸発源から基板に至る蒸気の通路となる開口部および各蒸発源から水晶振動子に至る蒸気の通路となる開口部が開けられている。そのような遮蔽体を2段にすること、また水晶振動子を円筒状シールドで囲むことにより、水晶振動子に到達する蒸気の指向性を強める。
請求項（抜粋）：
真空槽内に成膜基板が装着される基板支持体に対向して複数の蒸発源が配置されるものにおいて、基板支持体と蒸発源の間に冷却可能で平板状の蒸発物質に対する遮蔽体が設置され、その遮蔽体は、各蒸発源から支持体上に至るそれぞれの径路および蒸発源から各蒸発源にそれぞれ対向して前記平板状遮蔽体に関して基板支持体と同じ側に設置される蒸着膜厚検出用水晶振動子に至るそれぞれの径路に開口部を有することを特徴とする多元系同時蒸着装置。
IPC (4件)：
H01L 21/203
, C23C 14/54
, C30B 23/08
, H01L 31/04
