特許
J-GLOBAL ID:200903092458801484
硬質炭素被膜
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-119116
公開番号(公開出願番号):特開2007-291430
出願日: 2006年04月24日
公開日(公表日): 2007年11月08日
要約:
【課題】摩擦係数の一層の低減を図ると共に、簡便なプロセスで製造することができ、効果の発揮される潤滑油の種類の制約も少ない硬質炭素被膜を提供する。【解決手段】少なくとも相手材との摺動部位に硬質炭素被膜を備えた摺動部材の上記硬質炭素被膜中に、コバルト及びニッケルの一方又は両方を含有させ、その含有量を合計で1.4原子%以上39原子%以下の範囲とし、さらにコバルトおよびニッケルの凝集体のうち、径5nmを超えるものの割合を一定以下に抑制する。【選択図】なし
請求項(抜粋):
非晶質炭素を主成分とする被膜であって、被膜中にコバルトおよび/またはニッケルを合計で1.4原子%以上39原子%以下含有し、
被膜断面を透過型電子顕微鏡で観察した際に、該被膜中に生じるコバルト凝集体およびニッケル凝集体のうち、透過型電子顕微鏡像上で等価円直径が5nmを超える凝集体の占める領域が、面積比で40%以下であることを特徴とする、硬質炭素被膜。
IPC (6件):
C23C 14/06
, C10M 107/02
, C10M 129/76
, C10M 169/04
, C10M 103/02
, C10M 103/04
FI (6件):
C23C14/06 F
, C10M107/02
, C10M129/76
, C10M169/04
, C10M103/02
, C10M103/04
Fターム (18件):
4H104AA04A
, 4H104AA08A
, 4H104BA07A
, 4H104BB35C
, 4H104FA08
, 4H104LA03
, 4H104PA01
, 4H104PA41
, 4H104QA12
, 4K029AA02
, 4K029BA06
, 4K029BA12
, 4K029BA34
, 4K029BC02
, 4K029BD04
, 4K029CA05
, 4K029DC02
, 4K029DC39
引用特許: