特許

J-GLOBAL ID：200903092460414722

薄膜デバイス製造工程管理システムおよび薄膜デバイス製造工程管理方法

発明者： 小原 健二 ,  見坊 行雄
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 鈴木 市郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-068772
公開番号（公開出願番号）：特開2002-269109
出願日： 2001年03月12日
公開日（公表日）： 2002年09月20日
要約：

【要約】【課題】 異物・欠陥対策に関する情報を検索するためのキーワードの選択、組み合わせをエンジニアに行わせることにより、効率よくデータベースを検索可能とすること。【解決手段】 検査装置により検出された異物・欠陥分布と、異物・欠陥分布の特徴を表すキーワードと、検査データに基づいて撮像された異物・欠陥画像と、異物・欠陥画像の特徴を表すキーワードと、異物・欠陥対策内容とを、関連付けて格納したデータベースを備えた構成において、オペレータによる異物・欠陥分布のキーワードおよび/または異物・欠陥画像のキーワードの入力、および複数のキーワードによる検索論理式の入力とを受け付ける手段と、入力された検索条件にしたがって前記データベースの内容を検索して、該当する過去の事例が存在するかどうかを検索する手段と、検索結果を表示する手段とを、具備する。

請求項（抜粋）：

薄膜デバイスの製品名と、製造工程名と、ウェハ番号と、検査装置により検出された異物・欠陥分布と、異物・欠陥分布の特徴を表すキーワードと、検査データに基づいて撮像された異物・欠陥画像と、異物・欠陥画像の特徴を表すキーワードと、異物・欠陥対策内容とを、関連付けて格納したデータベースを備えた薄膜デバイス製造工程管理システムであって、オペレータによる異物・欠陥分布のキーワードおよび/または異物・欠陥画像のキーワードの入力、および複数のキーワードによる検索論理式の入力とを受け付ける手段と、入力された検索条件にしたがって前記データベースの内容を検索して、該当する過去の事例が存在するかどうかを検索する手段と、検索結果を表示する手段とを、具備したことを特徴とする薄膜デバイス製造工程管理システム。

IPC (4件)：

G06F 17/30 170 ,  G06F 17/30 320 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G06F 17/30 170 Z ,  G06F 17/30 320 D ,  H01L 21/02 Z ,  H01L 21/66 Z

Fターム (17件)：

4M106AA01 ,  4M106BA02 ,  4M106BA10 ,  4M106CA41 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ23 ,  5B075ND06 ,  5B075ND20 ,  5B075NK06 ,  5B075NK25 ,  5B075PP22 ,  5B075PP23 ,  5B075PQ02 ,  5B075QP03 ,  5B075UU40