特許
J-GLOBAL ID：200903092464923346
半導体圧力センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
則近 憲佑
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-235233
公開番号（公開出願番号）：特開平5-072069
出願日： 1991年09月17日
公開日（公表日）： 1993年03月23日
要約：
【要約】【構成】 本発明は、センサチップ1上に配置形成されたダイヤフラム5上の差圧センサと、その周縁部で台座管3の上方に差圧センサと対応して同様に配置された静圧センサの間に歪み分離帯を設けたことにより、静圧センサ信号に含まれる差圧によるダイヤフラム5の歪みに基づく静圧信号誤差成分を除去する。【効果】 本発明によれば、静圧信号誤差成分を除去することで、より正確な静圧センサ信号が得られ、これにより差圧センサ信号中の含まれる静圧による誤差を補正することが可能となり、半導体圧力センサの精度が向上する。
請求項（抜粋）：
第1および第2の面を有し、前記第1の面に空洞が形成された単結晶半導体材料からなる所定形状の半導体基板と、前記半導体基板の第1の面に結合され、かつ検出すべき圧力を前記空洞に導入する導圧路を有する所定形状の台座管と、前記半導体基板の第2の面上であって、前記空洞周縁の反対側近傍に形成された少なくとも1個の前記周縁に対して垂直方向の差圧歪みセンサおよび少なくとも1個の前記周縁に対して平行方向の差圧歪みセンサと、前記半導体基板の第2の面上であって、前記台座管が接合された部分の反対側に前記差圧歪みセンサと対応して同様な配置に形成された少なくとも1個の前記周縁に対して垂直方向の静圧歪みセンサおよび少なくとも1個の前記周縁に対して平行方向の静圧歪みセンサと、前記各差圧歪みセンサとそれに対応する前記各静圧歪みセンサの間の第2の面上にそれぞれ形成された歪み分離帯とを備えて成ることを特徴とする半導体圧力センサ。
IPC (2件)：
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
