特許
J-GLOBAL ID：200903092471292661
3-5族化合物半導体用電極材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030068
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240508
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体と低い接触抵抗を有する電極材料を提供する。【構成】一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体用電極材料であって、Al又はAl合金であることを特徴とする3-5族化合物半導体用電極材料。
請求項（抜粋）：
一般式In<SB>x </SB>Ga<SB>y </SB>Al<SB>z </SB>N(ただし、x+y+z=1、0<x≦1、0≦y<1、0≦z<1)で表されるn型の3-5族化合物半導体用電極材料であって、Al又はAl合金であることを特徴とする3-5族化合物半導体用電極材料。
IPC (2件)：
H01L 29/43
, H01L 21/28 301
