特許
J-GLOBAL ID:200903092481231229

電極印刷方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-005300
公開番号(公開出願番号):特開平8-195538
出願日: 1995年01月17日
公開日(公表日): 1996年07月30日
要約:
【要約】【目的】 電極印刷方法に関し、幅広電極印刷による導電材料の膜厚のバラツキを防止して電極抵抗値の均一化を図る。【構成】 電極領域として割り当てたパターン内に、電極として使用しないパターンを入り込ませた電極パターンを設計する工程と、メッシュ部分に感光剤を施したスクリーンに、電極パターンを焼き付けて電極印刷スクリーン13を形成する工程と、電極印刷スクリーン13を導電膜または抵抗膜上に位置合わせをする工程と、位置合わせされた電極印刷スクリーン13上に導電材料12Aを塗布する工程と、電極印刷スクリーン13上の導電材料12Aを該電極印刷スクリーン13のメッシュ部分に押し込んで導電膜または抵抗膜上に電極12を印刷する工程とを有している。
請求項(抜粋):
電極領域として割り当てたパターン内に、電極として使用しないパターンを入り込ませた電極パターンを設計する工程と、メッシュ又はメタルマスク上に前記電極パターンを形成して電極印刷スクリーンを形成する工程と、前記電極印刷スクリーンを導電膜または抵抗膜上に位置合わせをする工程と、前記位置合わせされた電極印刷スクリーン上に導電材料を塗布する工程と、前記電極印刷スクリーン上の導電材料を該電極印刷スクリーンのパターン部分に押し込んで導電膜または抵抗膜上に電極を印刷する工程とを有することを特徴とする電極印刷方法。
IPC (2件):
H05K 1/09 ,  H05K 3/12
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開昭63-102395
  • 特開平1-123237

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