磁気抵抗効果ヘッド及びその製造方法

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055368
公開番号（公開出願番号）：特開平6-267031
出願日： 1993年03月16日
公開日（公表日）： 1994年09月22日
要約：

【要約】【目的】高いパターン精度と優れた絶縁耐圧とを兼ね備えた電極を有するMRヘッドと、その製造方法を提供する。【構成】MRヘッドの電極端部を、MR膜に隣接する急峻なテーパ部分と、MR膜から離れたゆるやかなテーパ部分の2段テーパ形状とする。また、電極膜を2層構造とし、反応性エッチングにおける横方向エッチング速度の差を利用して、2段テーパ形状を作製する。【効果】高精度なエッチング電極パターンが作製できる。また、磁気ギャップ膜のつきまわりが改善され、電極/磁気シールド間の絶縁耐圧を大きくできる。

請求項（抜粋）：

磁気抵抗効果膜と、前記磁気抵抗効果膜に電流を供給する電極膜とを含み、磁気媒体上に記録された情報を再生する磁気抵抗効果ヘッドにおいて、前記電極膜の端部がテーパ形状となっており、前記磁気抵抗効果膜側に隣接する側の前記電極膜の端部テーパ角度が、前記磁気抵抗効果膜から離れた側の前記電極膜の端部テーパ角度よりも急峻であることを特徴とする磁気抵抗効果ヘッド。

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