特許
J-GLOBAL ID:200903092505981402
センサー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
八木田 茂 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-113557
公開番号(公開出願番号):特開平6-042971
出願日: 1991年05月17日
公開日(公表日): 1994年02月18日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】加速度計および振動ジャイロスコープなどの慣性センサーにおいて、従来公知システムの不利益の多くを克服し、相対的に安価なセンサーを提供する。【構成】共鳴体10は、適切な基板により構成され、上部プレート51と下部プレート52との間にある中心プレート50内部に形成される。中心プレート50はカットプレート51でもよく、中心プレートの視認のためには上部プレートと下部プレートはガラス、石英もしくは溶融シリカでもよく、このようにすれば共鳴体10との芯出しと共鳴体10(および、妥当な場合、トリミング質量)のレーザアブレーションによるアイゲン周波数の整合がに可能なる。中心プレート50は、一連の“L”棒支柱によるリング中心共鳴体10を支持するエッジ取り付け部22で構成する。伝導中心基板には、絶縁性二酸化シリコンもしくは硝酸シリコンが一様に塗布される。
請求項(抜粋):
共通軸回りに延びる内・外部周辺部を具備する振動共鳴体と、 共鳴体を振動させる励磁手段と、共鳴体を支持し、前記励磁手段に呼応する共鳴体振動を可能にし、直線・角加速度と旋回速度に呼応する共鳴体の支持手段相対運動を可能にするための支持手段と、共鳴体の運動を感知するトランスジューサ手段と、からなることを特徴とする慣性センサー。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (3件)
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特開昭60-073414
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特開昭64-032113
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特表平5-502945
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