特許

J-GLOBAL ID：200903092512071594

光学式基板検査装置

発明者： マーク・ジョセフ・ウイル ,  タオ ー イー・フゥ ,  マレック・ズイノー ,  ダモン・フロイド・クバンム ,  マイケル・イー・フェイン
出願人/特許権者： ケーエルエー・インストルメンツ・コーポレーション
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-224325
公開番号（公開出願番号）：特開平6-294750
出願日： 1992年08月24日
公開日（公表日）： 1994年10月21日
要約：

【要約】【目的】基板の欠陥や線幅を透過光及び反射光の少なくとも一方で自動的に検査・測定する自動基板検査装置を提供すること。【構成】XYステ-ジと、光学系と、電子制御解析表示系とを備えており、XYステ-ジにより検査対象である基板がXY平面上を蛇行移動し、光学系はレーザと、透過光検出器と、反射光検出器と、レーザ、基板、両検出器の間に基準光の光路及び照射光の光路を形成する光学素子群と、反射光及び基準光の両光線で基板を往復走査する音響光学的光線スキャナとを備えており、電子制御解析表示系はXYステ-ジ及び光学系の動作を制御し、両検出器の出力信号を解析及び記憶し、ダイ同士の比較モード及びダイとデータベースとの比較モードのいずれかで動作する自動基板検査装置。

請求項（抜粋）：

フォトマスク及び半導体ウエハーのごとき基板を検査する光学式基板検査装置において、検査面の中で所定のパスに沿って検査基板を保持するステージ手段と;画素の照明を行う光束を送り出すレーザ手段と;上記検査面と交わり且つそれに沿って上記光束が通過する第1の光軸を規定する光学手段であり、上記光束を検査基板上の画素に、1回当り1画素づつ、焦点を結ぶように作動する光学手段と;上記第1の光軸に沿って配置され、上記第1の光軸の両側を往復振動する形で、上記所定のパスに対して実質的に横方向に上記光束を偏向させ、検査基板の検査区域を隣接した掃引帯で走査する光束偏向手段と;検査基板上の照明された画素によって生ずる上記光束の強度の変化を検出し、これに該当する走査信号を送り出すように作動する光検出手段と;上記走査信号を対応する基準信号と比較し、その間の実質的差異が検査基板の欠陥を同定するごとくに用いられる電子的手段と;を含む、光学式基板検査装置。

IPC (2件)：

G01N 21/88 ,  H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-002520
  
• 特開昭60-202949
  
• 特開平1-195389