荷電粒子ビーム露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：井桁貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-303682
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151283
出願日： 1992年11月13日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：

【要約】【目的】荷電粒子ビーム露光装置、例えば、電子ビーム露光装置に関し、偏向電極に印加される偏向信号の整定時間の短縮化を図り、電子ビームの遮断時間を短縮し、スループットの向上を図る。【構成】偏向信号の電圧変化と同一又は逆方向に電圧変化する整定時間制御信号をアンプ23から最適のタイミングで出力させる。

請求項（抜粋）：

試料に照射すべき荷電粒子ビーム(11)を露光データによって指定された位置に偏向する少なくとも1個の静電偏向器(12)を備え、この少なくとも1個の静電偏向器(12)を構成する偏向信号が印加される偏向電極(13A)は、コンデンサ(14)を介して、前記偏向信号の電圧変化に対して所望のタイミングで前記偏向信号の電圧変化と同一又は逆方向に電圧変化する整定時間制御信号を出力する整定時間制御信号発生回路(15)の出力端子(16)に接続されていることを特徴とする荷電粒子ビーム露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 506 , G03F 7/20 521

前のページに戻る