特許
J-GLOBAL ID：200903092526913385
回転カップ式塗布装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
下田 容一郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-162901
公開番号（公開出願番号）：特開平7-132263
出願日： 1993年06月30日
公開日（公表日）： 1995年05月23日
要約：
【要約】【目的】 回転カップ式塗布装置の振動を抑制し且つ機構を簡略化する。【構成】 アーム61を下降することで、インナーカップ用蓋体52によりインナーカップ30の上面が先ず閉塞され、更に下降を継続することで、アウターカップ用蓋体51によりアウターカップ20の上面が閉塞される。このような状態からチャック40とこのチャック40にクラッチを介して係合しているインナーカップ30を一体的に回転せしめ、遠心力によりレジスト液をガラス基板Wの表面に均一に拡散塗布する。
請求項（抜粋）：
板状被処理物がセットされるとともに回転せしめられるインナーカップと、このインナーカップの外側に配置されるとともにインナーカップからのドレインを受けるアウターカップと、前記インナーカップの上面を覆うとともに中央部上面に雌円錐状の通孔を形成したインナーカップ用蓋体と、このインナーカップ用蓋体を回転自在に支持するアウターカップ用蓋体と、このアウターカップ用蓋体及びインナーカップ用蓋体をそれぞれのカップから持ち上げるとともに通孔が形成された昇降部材と、この昇降部材にホルダーを介して保持されその下半部が前記インナーカップに形成した雌円錐状の通孔に対応する雄円錐状となった弁体とを備えた回転カップ式塗布装置。
IPC (2件)：
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