特許
J-GLOBAL ID：200903092529607420
マイクロアクチュエータ装置及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-109660
公開番号（公開出願番号）：特開平7-322649
出願日： 1994年05月24日
公開日（公表日）： 1995年12月08日
要約：
【要約】【目的】 記録再生装置のピックアップヘッドに用いることのできるマイクロアクチュエータ装置において、薄膜で構成された可動部が応力により変形して固定部と接触し摩擦や摩耗により動作できなくなるという問題点を解決し、変形や摩擦・摩耗の少ない長寿命のマイクロアクチュエータ装置を提供することを目的とする。【構成】 アンカー1により基板に固定された渦巻状の層構造の梁2a〜2cにより層構造の移動板3を弾性支持し、移動板3の周囲に絶縁膜6を被覆した電極4a〜4pを設け、移動板3は圧縮応力を有する膜と引っ張り応力を有する膜の2層構造となっているので、両者の応力を相殺することとなり、応力歪のない可動部を得る。
請求項（抜粋）：
基板上に円周状に配置された複数の電極と、これらの電極の内側に位置し、圧縮応力を有する第一の部材と引っ張り応力を有する第二の部材とが層構造になったリング状の移動板と、前記移動板を弾性支持しかつ前記移動板の内側で前記基板上に固定端を有し、圧縮応力を有する第一の部材と引っ張り応力を有する第二の部材とが層構造になった梁と、前記電極に選択的に電圧を印加し前記移動板を静電気的に吸引させ移動させる電圧印加手段とを備えたマイクロアクチュエータ装置。
IPC (2件)：
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