特許
J-GLOBAL ID：200903092531126502
静電型アクチュエータ及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-069104
公開番号（公開出願番号）：特開平11-263012
出願日： 1998年03月18日
公開日（公表日）： 1999年09月28日
要約：
【要約】【課題】 静電気力によって相対変位する対向部材を備えた静電型アクチュエータにおいて、対応部材同士の貼り付きを防止する疎水膜を確実に形成することが可能な形状の静電型アクチュエータを提供する。【解決手段】 静電型アクチュエータを用いたインクジェットヘッド1のインク室6の底壁(共通電極)5の表面及びセグメント電極17の表面を含む振動室15は、外部を結ぶ管15bと接続しており、この管15bは更にバイパス管15cを介して外部に連通している。また、管15bを取り出すための第1の貫通穴27aとバイパス管15cを取り出すための第2の貫通穴27bがキャビティプレート3に形成されている。第1の貫通穴27aから管15bの解放端を封止材20aで封止した後、振動室15内部に、バイパス管15cを介して疎水膜を形成するための化合物を処理槽内で注入される。注入後、処理槽外で第2の貫通穴よりバイパス管15cの解放端を封止材20bで封止することにより、振動室15は気密封止される。
請求項（抜粋）：
略一定の間隔で対向配置され相対変位可能な複数の対向部材と、これらの各対向部材の間に選択的に静電気力を発生させて当該対向部材を選択的に相対変位させる駆動手段を有する静電型アクチュエータにおいて、各対向部材の一方の部材側に設けられ、前記駆動手段により選択的に通電されるセグメント電極と、各対向部材が形成された面を壁面の一部とし、夫々にセグメント電極が形成された振動室と、各振動室に連通し、前記セグメント電極と電気的に接続するリードが夫々に形成された第1の管と、前記振動室側と反対側の端で、前記第1の管の全てに接続すると共に、前記各リードと電気的に接続する端子が夫々に形成された第1の凹部と、前記対向部材間に疎水膜を形成する化合物を封入するために、前記第1の管の端子が設けられた側の端を封止する第1の封止部材と、前記第1の管の複数に連通する第2の管と、前記第2の管に接続する第2の凹部と、前記第2の管の前記第2の凹部側の端を封止する第2の封止部材を備えたことを特徴とする静電型アクチュエータ。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
