特許
J-GLOBAL ID：200903092539231852
ペリクル膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-352045
公開番号（公開出願番号）：特開平6-175358
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は常法により基板上に成膜したペリクル膜をペリクル枠フレームに接着後に、基板からペリクル膜を剥離して清浄なペリクル膜を製造する方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明のペリクル膜の製造方法は、ペリクル膜の基板からの剥離工程を水蒸気中の雰囲気で行なうことを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
ペリクル膜の基板からの剥離工程を水蒸気中の雰囲気で行なうことを特徴とするペリクル膜の製造方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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