特許
J-GLOBAL ID：200903092540016914
プローブユニット及びプローブカード
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松永 宣行
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-230599
公開番号（公開出願番号）：特開2001-056344
出願日： 1999年08月17日
公開日（公表日）： 2001年02月27日
要約：
【要約】【目的】 プローブ要素及びプローブ領域を高密度に配置して、境界線交差部の周りの複数のチップを同時に確実に検査可能にすること【解決手段】 フィルム状プローブユニットは、複数の配線をシート状部材に形成している。このプローブユニットは、矩形をした複数のプローブ領域をマトリクス状に有すると共に、隣り合うプローブ領域にわたって伸びる複数のスリットを有する。各プローブ領域はその配線の一端部を含む複数のプローブ要素を矩形の複数の縁部のそれぞれに有しており、プローブ要素の先端部は対応する縁部に直線状に配列されており、各配線は対応するプローブ要素の先端部から対応するプローブ領域の内側へ伸びている。各スリットは、隣り合うプローブ領域の境界線を介して隣り合うプローブ要素群のうち、一方のプローブ要素群の隣り合うプローブ要素の間から前記境界線を越えて他方のプローブ要素群の隣り合うプローブ要素の間にまで伸びている。
請求項（抜粋）：
複数の配線をシート状部材に形成したフィルム状のプローブユニットであって、矩形をした複数のプローブ領域をマトリクス状に有すると共に、隣り合うプローブ領域にわたって伸びる複数のスリットを有し、各プローブ領域は、前記配線の一端部を含む複数のプローブ要素を前記矩形の複数の縁部のそれぞれに有し、前記プローブ要素の先端部は対応する縁部に直線状に配列されており、各配線は対応するプローブ要素の先端部から対応するプローブ領域の内側へ伸びており、各スリットは、隣り合うプローブ領域の境界線を介して隣り合うプローブ要素群のうち、一方のプローブ要素群の隣り合うプローブ要素の間から前記境界線を越えて他方のプローブ要素群の隣り合うプローブ要素の間にまで伸びている、プローブユニット。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 F
, H01L 21/66 B
2G011AA16
, 2G011AA21
, 2G011AB06
, 2G011AB08
, 2G011AC14
, 2G011AE03
, 4M106AA02
, 4M106BA01
, 4M106CA01
, 4M106DD03
, 4M106DD13
, 4M106DD16
