特許

J-GLOBAL ID：200903092545351436

表面弾性波を用いた不揮発性記憶装置並びにそれを用いた応用システム

発明者： 阿部 良夫 ,  福田 琢也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-127286
公開番号（公開出願番号）：特開平7-335772
出願日： 1994年06月09日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】強誘電体を用いた不揮発性メモリにおいて、データ読みだしの際の分極反転による膜疲労を防止し、読みだし回数の制限の無い不揮発性記憶装置を提供することである。【構成】強誘電体薄膜の分極方向によりデータを記憶する。データの読みだしの際は、強誘電体薄膜上に形成したすだれ状電極により表面弾性波を生成し、強誘電体の圧電効果を用いて分極方向を読みだす。【効果】データの読みだしの際に、強誘電体薄膜の分極反転がないため、膜の疲労がない。従って、読みだし回数の制限がない。

請求項（抜粋）：

強誘電体の分極方向を強誘電体に歪を加えることで読みだすことを特徴とする不揮発性記憶装置。

IPC (9件)：

H01L 21/8247 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  G11C 11/22 ,  G11C 16/02 ,  G11C 16/04 ,  H01L 21/8242 ,  H01L 27/108 ,  H01L 27/105

FI (4件)：

H01L 29/78 371 ,  G11C 17/00 307 D ,  H01L 27/10 325 J ,  H01L 27/10 441