特許
J-GLOBAL ID：200903092548423721

計測方法および計測装置

発明者：
野田 孝

野田 孝 について

, 
横溝 信次

横溝 信次 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


代理人 (1件)： 木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-239535
公開番号（公開出願番号）：特開2003-050118
出願日： 2001年08月07日
公開日（公表日）： 2003年02月21日
要約：
【要約】【課題】 リシートエラーにより発生する測定精度への影響を排除し、より高精度な計測を実現できる計測方法および計測装置を提供する。【解決手段】 タッチトリガプローブ30と被測定物Wとの接触方向に関して、予め設定された複数の接触方向について、その直前の接触方向との関係において得られた補正量を補正テーブル62に記憶させる工程と、測定時に、タッチトリガプローブ30と被測定物Wとの接触方向を検出する工程と、検出された今回の接触方向とその直前の接触方向とに最も近い関係の組み合わせに対応する補正量を補正テーブル62の中から選択する工程と、選択された補正量を用いて、接触検出信号発生時の相対移動座標値を補正する工程と、を備える。
請求項（抜粋）：
タッチトリガプローブと被測定物とを相対移動させながら接触させ、そのときにタッチトリガプローブから発生する接触検出信号に基づいてタッチトリガプローブと被測定物との相対移動座標値を検出し、この相対移動座標値を基に被測定物の寸法および表面性状の少なくとも一方を計測する計測方法であって、前記タッチトリガプローブと被測定物との接触方向に関して、予め設定された複数の接触方向について、その直前の接触方向との関係において得られた補正量を補正テーブルに記憶させる補正テーブル作成工程と、測定時に、前記タッチトリガプローブと被測定物との接触方向を検出する接触方向検出工程と、この接触方向検出工程によって検出された今回の接触方向とその直前の接触方向とに最も近い関係の組み合わせに対応する補正量を前記補正テーブルの中から選択する補正量選択工程と、この補正量選択工程で選択された補正量を用いて、前記接触検出信号発生時の相対移動座標値を補正する補正工程と、を備えることを特徴とする計測方法。
Fターム (23件)：
2F069AA04 ,  2F069AA31 ,  2F069AA61 ,  2F069DD30 ,  2F069EE04 ,  2F069EE23 ,  2F069GG01 ,  2F069GG06 ,  2F069GG12 ,  2F069GG14 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ22 ,  2F069JJ30 ,  2F069LL02 ,  2F069LL08 ,  2F069LL13 ,  2F069NN17 ,  2F069NN26
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

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