特許

J-GLOBAL ID：200903092561472901

薄膜及びその製造方法

発明者： 木村 邦子 ,  小林 圭 ,  山田 啓文 ,  堀内 俊寿 ,  石田 謙司 ,  松重 和美
出願人/特許権者： 合資会社京都インスツルメンツ
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2003011670
公開番号（公開出願番号）：WO2004-026459
出願日： 2003年09月11日
公開日（公表日）： 2004年04月01日
要約：

本発明は、任意の微小な領域のみを構造制御する全く新しい薄膜の製造方法を提供することを目的とする。製膜途中または製膜後の膜全体または膜内の任意の部分について、その膜温度を非晶部のガラス転移温度以上に設定した上で、鋭利な先端形状を有する部材を用いて力を加えることにより、膜の構造を制御するようにした。本製造方法を実現する装置として、原子間力顕微鏡を用いることもできる。

請求項（抜粋）：

製膜途中または製膜後の膜全体または膜内の任意の部分に、鋭利な先端形状を有する部材を用いて力を加えることにより、膜の構造を制御するようにした薄膜の製造方法。

IPC (8件)：

C08J 7/00 ,  B01J 19/00 ,  B01J 19/08 ,  H01L 21/312 ,  H01L 27/04 ,  H01L 21/822 ,  H01L 27/105 ,  H01L 21/824

FI (7件)：

C08J7/00 Z ,  C08J7/00 ,  B01J19/00 K ,  B01J19/08 F ,  H01L21/312 Z ,  H01L27/04 C ,  H01L27/10 444C

Fターム (36件)：

4F073AA32 ,  4F073BA15 ,  4F073BB01 ,  4F073CA53 ,  4F073CA69 ,  4F073GA07 ,  4G075AA24 ,  4G075BC01 ,  4G075BC02 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075CA12 ,  4G075CA42 ,  4G075CA80 ,  4G075DA18 ,  4G075EC30 ,  4G075EE12 ,  5F038AC05 ,  5F038AC18 ,  5F038AC19 ,  5F038EZ17 ,  5F038EZ20 ,  5F058AA10 ,  5F058AB05 ,  5F058AB06 ,  5F058AB07 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AG10 ,  5F058AH01 ,  5F083FR00 ,  5F083GA27 ,  5F083JA14 ,  5F083JA15 ,  5F083JA38