特許
J-GLOBAL ID：200903092571606582
ステージ装置およびその露光装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-237453
公開番号（公開出願番号）：特開2007-053244
出願日： 2005年08月18日
公開日（公表日）： 2007年03月01日
要約：
【課題】高精度な浮上位置決めが可能であり、可動台が2次元平面で回転している状態からも迅速に浮上させることができるステージ装置を提供する。【解決手段】本発明のステージ装置1は、可動台3が浮上用電磁石4で支持して固定部2に対して直交2軸方向に移動可能にするとともに、Y軸リニアモータ5とX軸リニアモータ6a、6bで、可動台3を駆動して位置決めするものであり、非接触支持された可動台が非浮上時に2次元平面で回転していても、浮上後に可動台に装着された回転角度センサ信号に基づいて可動台を駆動するX軸リニアモータ6a、6bにて回転補正し、可動台の位置決め用リニアエンコーダを検出可能な状態にするものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
2次元平面の1軸方向の両端が開口するとともに、下面に前記軸方向に伸びる溝状の開口を備えた略矩形の形状をしかつ浮上用電磁石を配設して成る固定台と、前記浮上用電磁石に作用する浮上用磁石片を備えて非接触磁気浮上方式により前記固定台の前記開口内に支持される可動台と、前記可動台の中央に配置された2次元リニアセンサと、前記2次元リニアセンサの検出信号を基に前記可動台を2次元平面内で制御駆動するリニアモータと、からなるステージ装置において、
前記可動台が移動する2次元平面の長ストロークのY軸方向に、X軸方向のストローク長より長いスリット長さを有する磁性体スリット板を前記可動台の中心線に対し所定の間隔を開けて平行に2本配置し、前記磁性体スリット板に対向して90度位相の2相正弦波信号を発生する磁気センサを対向させてストロークセンタ付近に配置し、走行範囲全域に渡り、前記可動台の2次元平面内での回転角度を計測する回転角検出センサを設けたことを特徴とするステージ装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01L 21/68
H01L21/30 503A
, G03F7/20 521
, H01L21/68 K
5F031CA02
, 5F031HA53
, 5F031HA57
, 5F031HA59
, 5F031JA03
, 5F031LA04
, 5F031LA08
, 5F031PA30
, 5F046BA03
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC03
, 5F046CC16
, 5F046CC17
