酸化アルミニウムの化学蒸着法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉内基弘 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-518549
公開番号（公開出願番号）：特表2001-502381
出願日： 1997年10月15日
公開日（公表日）： 2001年02月20日
要約：

【要約】アルキルアルミニウムアルコキシド及び随意成分としての酸素を含みそして非発火性液体から気化された前駆物質化合物から酸化アルミニウムの被膜が付着される。例えば、トリエチルジアルミニウムトリ-sec-ブトキシド蒸気と窒素ガスとのガス状混合物は、600°C付近の温度に加熱した基体上に非晶質酸化アルミニウム被膜を付着させる。反応体ガス混合物への酸素ガスの添加は、付着温度を約400°Cに低下させる。被膜は、高い純度、高い電気抵抗、及び光に対する高い透明性を有する。これらは、水及びナトリウムのようなイオンの拡散に対する良好な遮断壁である。これらの被膜は、光学被覆、並びにフラットパネルディスプレー、コンピューターマイクロ回路、ソーラーセル及び金属を不純物による腐食及び劣化から保護する拡散遮断壁において有用である。

請求項（抜粋）：

平均組成RnAl2(OR’)6-n(ここで、R及びR’はアルキル基であり、そしてnは1〜5の数である)を有する1種以上のアルキルアルミニウムアルコキシド化合物からなる非発火性液体から発生した蒸気を反応させることを含む、酸化アルミニウムからなる物質の形成法。

前のページに戻る