特許
J-GLOBAL ID：200903092573412181
インクジェットヘッド
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-037880
公開番号（公開出願番号）：特開平6-246914
出願日： 1993年02月26日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：
【要約】【目的】 保護特性の優れた無機不動態系保護膜を形成し、インクジェットヘッドの製品品質安定性を高め、低コストで供給することを目的とする。【構成】 インクジェットヘッド内のインク溝に形成する無機不動態系保護膜の膜厚を0.1以上、最大でも保護膜の厚みと溝壁幅寸法の比が1/8をこえない値とする。【効果】 無機不動態系保護膜形成において、薄膜に起因する部分的絶縁破壊を防ぎ、且つ、厚膜に起因するストレスを抑えて密着性の良い、保護膜成膜が可能となる。また作製時間を抑え生産性を上げることができる。すなわち、絶縁性、密着性等、保護膜機能の優れた保護膜が生産性良く成膜でき、製品安定性に優れたインクジェットヘッドが低コストで供給できる。
請求項（抜粋）：
インク液室を構成する少なくとも1つの壁が圧電セラミックス素子からなり、その圧電セラミックス素子を駆動する電極が前記インク液室内に設けられたインクジェットヘッドにおいて、前記電極を絶縁保護するための無機不動態系保護膜を備えるとともに、その保護膜の厚みが、少なくとも0.1μm以上で、最大でも前記壁の厚みの1/8を越えない値であることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
