特許
J-GLOBAL ID:200903092574010885

電動ステージの制御方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-184196
公開番号(公開出願番号):特開平8-016251
出願日: 1994年07月04日
公開日(公表日): 1996年01月19日
要約:
【要約】【目的】 本発明はノブを操作した時の方向・距離および速度に同調して動作する、駆動モータを使用した電動ステージの制御方法の提供を目的とする。【構成】 本発明はノブに連動したエンコーダからの信号を基に、方向判定部とドライバ部を経由して駆動モータを制御する構造にする。
請求項(抜粋):
加工や測定や観察をする時に使用する電動ステージの操作部において、ノブに連動したエンコーダと、方向判定部とを備え、一個のエンコーダから発振する2つの相信号を基に、方向判定部でノブの移動方向を認識させ、エンコーダの発振信号と同期した駆動指令用パルス波形信号を生成する事により、駆動用モータの制御を行う事を特徴とする電動ステージの制御方法。
IPC (6件):
G05D 3/12 ,  G05D 3/12 301 ,  G05D 3/12 305 ,  B23Q 1/62 ,  G02B 21/00 ,  H01J 37/20

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