特許

J-GLOBAL ID：200903092576379142

シート状基板の分割方法

発明者： 黒田 康裕 ,  谷 誠道 ,  藤本 勝之
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 岩橋 文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-335397
公開番号（公開出願番号）：特開2000-164412
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 第1の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第2の分割用ベルトとの間に挟持して分割した後、分割された短冊状基板を第1の分割用ベルトの上面のみに確実に整列させることができるシート状基板の分割方法を提供することを目的とする。【解決手段】 第1の搬送用ベルト11の上面に載置されたシート状基板13を第1の分割用ベルト17の上面に移載して搬送する工程と、前記第1の分割用ベルト17の上面に載置されたシート状基板13を搬送用フィルム26を介して第2の分割用ベルト22との間に挟持してシート状基板13を分割した後前記第2の分割用ベルト22のみを離す工程を備えたものである。

請求項（抜粋）：

シート状基板を上面に載置して第1の搬送用ベルトで搬送する工程と、前記第1の搬送用ベルトの上面に載置されたシート状基板を第1の分割用ベルトの上面に移載して搬送する工程と、前記第1の分割用ベルトの上面に載置されたシート状基板を搬送用フィルムを介して第2の分割用ベルトとの間に挟持してシート状基板を分割した後前記第2の分割用ベルトのみを離す工程とを備えたシート状基板の分割方法。

IPC (2件)：

H01C 17/06 ,  H01L 21/301

FI (2件)：

H01C 17/06 V ,  H01L 21/78 T

Fターム (3件)：

5E032CB01 ,  5E032CC01 ,  5E032CC03

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開昭62-285403