特許

J-GLOBAL ID：200903092584066692

変位量測定装置

発明者： 小林 喬郎 ,  品川 隆明 ,  山蔦 貞雄
出願人/特許権者： エンビックインターナショナル株式会社 ,  株式会社レオ研究所
代理人 (1件)： 田中 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-299051
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128015
出願日： 1993年11月05日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】 基準パルス列と同期した駆動・変調用電流により制御された半導体レ-ザからの光を用いて、駆動される被測定物体の変位量測定用情報光を生成し、その光電変換出力から測定開始及び終了位置信号を正しく表しているものとして生成し、よって、それらを用いた被測定物体の変位量表示信号を、測定開始(終了)時点に関せず、正しく表しているものとして得る。【構成】 測定開始(終了)位置表示信号を、測定開始(終了)時点が被測定物体の駆動開始時点後(駆動停止時点前)の場合、変位量測定信号の測定開始(終了)時点直後の基準パルスが得られる第1(第3)の時点での値と、測定開始(終了)時点直前の基準パルスが得られる第2(第4)の時点での値との差と、第1及び第2(第3及び第4)の時点間の時間を第2(第4)の時点及び測定開始(終了)時点間の時間で除した値との積を用いて得る。

請求項（抜粋）：

駆動用直流電流と変調用交番電流との重畳された基準パルス列と同期している駆動・変調用電流を発生する手段と、上記駆動・変調用電流の供給を受けて、周波数が、上記駆動・変調用電流の変調用交番電流分に応じて交番するコヒ-レントな光を発生する半導体レ-ザと、変位の測定されるべき被測定物体を駆動開始用パルスが得られる駆動開始時点から駆動停止用パルスが得られる駆動停止時点まで駆動する手段と、上記半導体レ-ザからの光を用いて、上記被測定物体の変位量を計測するのに用いる情報を有する変位量測定用情報光を生成する変位量測定用情報光生成用光学系と、上記変位量測定用情報光生成用光学系から出射される変位量測定用情報光を電気的な変位量測定用情報信号に変換して出力する光電変換器と、上記変位量測定用情報信号から、上記基準パルス列のパルス毎に、上記変位量測定情報信号の位相に応じた振幅を有する変位量測定信号を生成する手段と、上記変位量測定信号から、上記基準パルス列と測定開始用パルスとを用いて、測定開始位置表示信号を生成する手段と、上記変位量測定信号から、上記基準パルスと測定終了パルスとを用いて、測定終了位置信号を生成する手段と、上記測定開始位置表示信号と上記測定終了位置表示信号とを用いて、上記被測定物体の、上記測定開始用パルスが得られる測定開始時点から上記測定終了パルスが得られる測定終了時点までの間の変位量を表している変位量表示信号を生成する手段とを有する変位量測定装置において、上記測定開始位置表示信号生成手段が、上記測定開始位置表示信号を、上記測定開始時点が上記駆動開始時点後である場合、上記変位量測定信号の上記基準パルス列の上記測定開始時点直後のパルスが得られる第1の時点での第1の値と、上記基準パルス列の上記測定開始時点直前のパルスが得られる第2の時点での第2の値との差と、上記第1及び第2の時点間の時間を上記第2の時点及び上記測定開始時点間の時間で除した値との積を用いて得るようになされ、上記測定終了位置表示信号生成手段が、上記測定終了位置表示信号を、上記測定終了時点が上記駆動停止時点前である場合、上記変位量測定信号の上記基準パルス列の上記測定終了時点直後のパルスが得られる第3の時点での第3の値と上記基準パルス列の上記測定終了時点直前のパルスが得られる第4の時点での第4の値との差と、上記第3及び第4の時点間の時間を上記第4の時点及び上記測定終了時点間の時間で除した値との積の値を用いて得るようになされていることを特徴とする変位量測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/00 ,  G01D 5/26