特許

J-GLOBAL ID：200903092587979605

基板洗浄装置

発明者： 森田 彰彦 ,  大谷 正美 ,  平岡 伸康
出願人/特許権者： 大日本スクリーン製造株式会社
代理人 (1件)： 杉谷 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-090581
公開番号（公開出願番号）：特開平9-260330
出願日： 1996年03月18日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】 薬液を用いた基板洗浄を好適に実施できる基板洗浄装置を提供する。【解決手段】 ノズル5(5a)から基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、2種類以上の液(薬液や純水など)を各々秤量する秤量部11と、秤量された各液を調合(混合)する調合部12と、調合部12で調合した洗浄液を貯留する貯留部13を備えた液調合ユニット6を基板洗浄装置に付設し、その装置の基板洗浄のタイミングで貯留部13に貯留している洗浄液(2種類以上の液を調合してつくった洗浄液)をノズル5(5a)から基板上に供給して基板洗浄するように構成した。

請求項（抜粋）：

ノズルから基板上に洗浄液を供給し、枚葉処理で基板の洗浄を行う基板洗浄装置において、2種類以上の液の供給を受けてそれら液を調合して洗浄液をつくりだす調合手段を設け、前記調合した洗浄液をノズルから基板上に供給するように構成したことを特徴とする基板洗浄装置。

IPC (4件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 351 ,  B05C 5/00 ,  B08B 3/02

FI (4件)：

H01L 21/304 341 N ,  H01L 21/304 351 S ,  B05C 5/00 Z ,  B08B 3/02 Z

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 特開平3-019216