特許
J-GLOBAL ID：200903092590196840
質量分析方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-045919
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236582
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 ガス質量分析において、被検査物の準備時間やその付着物の分析時間の短縮を図る。【解決手段】 イオン化可能な窒素ガス2が供給された石英チャンバ3内で半導体ウェハ1を加熱して付着物を昇温脱離させ、脱離ガス4を形成する昇温脱離部5と、石英チャンバ3から排出された脱離ガス4の正イオン化を大気圧雰囲気で行う第1イオン形成部6を備えかつ正イオンを質量分析する第1質量分析部7と、石英チャンバ3から排出された脱離ガス4にイオン化可能な酸素ガス8を供給して形成した混合脱離ガス9の負イオン化を大気圧雰囲気で行う第2イオン形成部10を備えかつ負イオンを質量分析する第2質量分析部11とからなり、正負イオン化を同一の脱離ガス4を用いて同時に第1イオン形成部6と第2イオン形成部10とで行い、正負両イオンを同時に質量分析する。
請求項（抜粋）：
被検査物に付着した付着物をイオン化して分析する質量分析方法であって、処理容器内に第1キャリアガスを供給して前記被検査物を加熱することにより、前記付着物を昇温脱離させて脱離ガスを形成し、前記脱離ガスを前記第1キャリアガスとともに前記処理容器から排出して第1質量分析部に導入し、前記第1質量分析部で前記脱離ガスの正または負イオン化の何れか一方を大気圧雰囲気で行った後、イオンを質量分析し、前記処理容器から第1キャリアガスとともに排出した脱離ガスに第2キャリアガスを供給して形成した混合脱離ガスを第2質量分析部に導入し、前記第2質量分析部で前記混合脱離ガスの正または負イオン化の何れか他方を大気圧雰囲気で行った後、イオンを質量分析することを特徴とする質量分析方法。
FI (2件)：
G01N 27/62 F
, G01N 27/62 S
