特許
J-GLOBAL ID：200903092592948580
可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 傅
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-267670
公開番号（公開出願番号）：特開平6-115617
出願日： 1992年10月06日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ処理装置等を小形・簡素で安価に製作できるようにし、システム全体の所要スペースを低減して、当該システムを安価で、コンバクトに構築することができ密閉コンテナ流通式の自動搬送システムを提供することを目的とする。【構成】 第1の装置20と第2の装置11〜14間を搬送する被搬送物52を可搬式の密閉コンテナ40に入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送車で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、上記無人搬送装置60が、上記密閉コンテナ40に対する上記被搬送物52の自動出し入れを司るコンテナインターフェースを台車61内に備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
第1の装置と第2の装置間を搬送する被搬送物を可搬式の密閉コンテナに入れて搬送し、当該搬送を、無人搬送装置で自動的に行なう自動搬送システムにおいて、上記無人搬送装置が、上記密閉コンテナに対する上記被搬送物の自動出し入れを司るコンテナインターフェース装置を台車内に備えていることを特徴とする可搬式密閉コンテナ流通式の自動搬送システム。
IPC (4件)：
B65G 1/04
, B61B 13/00
, B61D 27/00
, B65G 1/02
