特許

J-GLOBAL ID：200903092594165966

X線定量分析装置および方法ならびにX線定量分析プログラムを記録した媒体

発明者： 森田 洋二 ,  村瀬 潤 ,  吉光 克弘 ,  渡辺 研一
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-318775
公開番号（公開出願番号）：特開平10-026593
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年01月27日
要約：

【要約】【課題】 試料中に分布している元素の密度の如何にかかわらず、多元素を同時に精度よく、しかも短時間で定量分析することができるX線定量分析装置および方法を提供すること。【解決手段】 試料3に対して電子線4またはX線を走査しながら照射したときに生ずる特性X線13の強度を元素ごとに記録し、これに基づいて検出元素およびバックグラウンドをマッピングして相分析を行って組成別にグループ分けするとともに、前記マッピングした各点を定量演算して各グループの定量値を求め、さらに、各グループの面積比率を求め、次いで、検出元素の密度と前記各グループの定量値とに基づいて前記面積比率を各グループの重量比率に変換できるようにした。

請求項（抜粋）：

試料に対して電子線またはX線を走査しながら照射したときに生ずる特性X線を検出するX線検出器と、このX線検出器の出力を処理するマルチヤネルアナライザと、このマルチヤネルアナライザからの出力に基づいて元素の画素位置に対応した濃度値を格納するメモリを備えるとともに、このメモリ内容に基づいて検出元素およびバックグラウンドをマッピングして相分析を行って組成別にグループ分けするとともに、前記マッピングした各点を定量演算して各グループの定量値を求め、さらに、各グループの面積比率を求め、次いで、検出元素の密度と前記各グループの定量値とに基づいて前記面積比率を各グループの重量比率に変換できるように構成したことを特徴とするX線定量分析装置。