特許
J-GLOBAL ID：200903092606517537
走査型トンネル顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-156060
公開番号（公開出願番号）：特開平7-072159
出願日： 1988年08月12日
公開日（公表日）： 1995年03月17日
要約：
【要約】【目的】探触針により観察された像と、他の顕微鏡等で得られる光学観察像のそれぞれの像を観察・測定することができる。【構成】上枠201aには、夫々倍率の異なる2個の対物レンズa1と1個の対物レンズユニット140とが配設された対物レボルバ-211が回転可能に装着されている。また、このレンズユニットの下端には、試料12からの反射光を受光するようにして補助対物レンズ203が、またこの補助対物レンズからは探触針24が下方に突設するようにして、夫々設けられている。試料はアクチュエ-タ22xyの上に載置され、探触針に対して移動可能になっている。前記レボルバ-を回転させることにより、対物レンズと探触針とが選択的に試料の上に配置され、対物レンズによる像と探触針による像とが得られる。
請求項（抜粋）：
試料を保持する試料保持手段と、前記試料に対向するように配置される探触針と、この探触針を前記試料に対して軸方向に所定の間隔を有して支持する支持手段と、前記試料と探触針とを相対的に駆動するアクチュエータ手段と、前記探触針と試料とを光学的に観察するように試料に対向する位置に配置される試料観察光学系と、この試料観察光学系と前記探触針とのいずれか一方が前記試料に対向する位置に配置されるように、前記試料観察光学系と前記探触針とを切り替える切替手段とを備えたことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (4件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/22 502
, H01J 37/28
