特許

J-GLOBAL ID：200903092607257563

フィルム厚の測定方法及び装置

発明者： ロナルド・ヴィー・アルブス ,  ウエイン・ヴィー・ソリン ,  スティーブン・エー・ニュートン
出願人/特許権者： ヒューレット・パッカード・カンパニー
代理人 (1件)： 上野 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-224835
公開番号（公開出願番号）：特開平9-119814
出願日： 1996年08月27日
公開日（公表日）： 1997年05月06日
要約：

【要約】【課題】透明、不透明フィルムの厚さや群屈折率を簡単かつ正確に測定する。【解決手段】上部表面及び下部表面を備えたフィルム(15)の厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光源(12)から第1、第2のプローブ光信号を発生しフィルムの両表面に送り、かつそれら表面から反射する光を集めるための手段(13、14)と、反射光を部分的に反射して、それぞれの表面に向かって戻すための上部及び下部基準表面(13、14の端部)を設ける。上部表面及び下部表面から集めた光を結合して、上部表面及び上部基準表面から反射した光と、下部表面及び下部基準表面から反射した光の間における時間遅延を求めるための受信器(18)を備える。

請求項（抜粋）：

上部表面及び下部表面を備えたフィルムの厚さを測定するための装置において、低コヒーレント光源から第1のプローブ光信号及び第2のプローブ光信号を発生するための手段、前記上部表面に向かって前記第1のプローブ光信号を送り、前記上部表面を出る光を集めるための手段と、前記上部表面を出る光を部分的に反射して、前記上部表面に向かって戻すための上部基準表面と、前記下部表面に向かって第2のプローブ光信号を送り、前記下部表面を出る光を集めるための手段と、前記下部表面を出る光を部分的に反射し、前記下部表面に向かって戻すための下部基準表面と、前記上部表面及び下部表面から集めた前記光を結合して、集光信号を形成するための結合手段と、前記集光信号を受信して、前記上部表面及び前記上部基準表面から反射した光と、前記下部表面及び前記下部基準表面から反射した光の間における時間遅延を求めるための受信器を備えた、測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/41 ,  G01N 21/55

FI (3件)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/41 Z ,  G01N 21/55