ガスセンサ及びその製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：塩入明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-336244
公開番号（公開出願番号）：特開平8-178882
出願日： 1994年12月22日
公開日（公表日）： 1996年07月12日
要約：

【要約】【目的】表面積が大きく結晶子径が小さく高感度で動作温度が低い、ガスセンサを提供する。【構成】 SnCl4水溶液をアンモニア水で加水分解し、得られた沈澱を濾過し水洗後に、0.25wt%程度の濃度の塩化アンモニウムの水溶液に含浸する。次いで再洗浄無しに600°Cで焼成し、比表面積が60m2/g弱,結晶子径が7nm以下のSnO2とする。

請求項（抜粋）：