特許

J-GLOBAL ID：200903092612046848

露光装置

発明者： 太田 和哉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-166319
公開番号（公開出願番号）：特開平11-345760
出願日： 1998年05月29日
公開日（公表日）： 1999年12月14日
要約：

【要約】【課題】 露光光の照射に起因する投影光学系の結像特性の悪化を抑制する。【解決手段】 投影光学系POを構成するミラーM1〜M4とこれらのミラーを保持する保持部材(15A、15B、15C、15D及びPP)とを同一の熱膨張係数を有する材料により形成した。このため、ミラーと保持部材との熱膨張係数の相違に起因するいわゆるバイメタル効果が発生せず、ミラーに熱歪みが発生するのを防止することができ、これにより投影光学系POの結像特性の悪化を抑制することができる。

請求項（抜粋）：

少なくとも一部に反射光学素子を含む投影光学系を備え、該投影光学系を介して所定のパターンを基板上に転写する露光装置において、前記反射光学素子とこれを保持する保持部材とを同一の熱膨張係数を有する材料により形成したことを特徴とする露光装置。

IPC (6件)：

H01L 21/027 ,  G02B 7/198 ,  G02B 13/24 ,  G02B 17/08 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521

FI (6件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 13/24 ,  G02B 17/08 Z ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 7/18 B